CDE resmap 178 四探针面扫描电阻率_新闻报道和使用

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CDE resmap 178 四探针面扫描电阻率

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瑞斯迈四探针测试仪, CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及zl自动决定范围量测与传送,通过性高 * 数字测量方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且可以Recipe设定更换.

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