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半球半导体专用检测仪器设备, 产品特点: ? 非接触式、不破坏样品的光干涉式膜厚计。? 高精度、高再现性测量紫外到近红外波长反射率光谱,分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率,k消光系数)。? 宽阔的波长测量范围。(190nm-1100nm)? 薄膜到厚膜的膜厚测量范围。(1nm~250μm)? 对应显微镜下的微距测量口径。
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