半球半导体专用检测仪器设备, 产品特点： ? 非接触式、不破坏样品的光干涉式膜厚计。? 高精度、高再现性测量紫外到近红外波长反射率光谱，分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率，k消光系数）。? 宽阔的波长测量范围。（190nm-1100nm）? 薄膜到厚膜的膜厚测量范围。（1nm~250μm）? 对应显微镜下的微距测量口径。