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透射电镜TEM
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FEI透射电镜TEM, 第一个致力于半导体工业的 TEM;致力于提供快速, 精确的测量;基本的 TEM 操作和测量程序的广泛的自动化zei大限度地减少对专业操作员训练的要求。其先进的自动化计量例程提供了比手动方法更高的精确度。Metrios TEM 的目的是为客户提供更高的吞吐量和更低的每样成本。
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