等离子体增强化学气相沉积系统CVD

产品型号：等离子体增强CVD

品牌：泽攸科技

产品产地：安徽

产品类型：国产

原制造商：泽攸科技

状态：在售

厂商指导价格： 50~100万元[人民币]

上市时间： 2019-10-30

英文名称：Plasma enhanced chemical vapor deposition system CVD

优点：用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术，主要借助微波或射频的方法将目标气体进行电离，促进化学反应在较低的温度下进行，从而在基片上沉积出所期望的薄膜。