微纳器件与系统研究室
400-6699-117转1000
2017年该室有全职教师和工程技术人员14人，其中教授7人、副教授7人、讲师1人，包括中国科学院院士2人、长江学者1人、国家杰出青年科学基金获得者2人。
目前在读研究生53人，其中博士研究生31人，硕士研究生22人。近十年培养硕士研究生和博士研究生130人，发表国内外学术期刊和会议论文400篇。主 任：
陈炜教授：Tel：62789151-311, Fax: 62772608, Email: weichen@ tsinghua.edu.cn
副主任：
王喆垚教授：Tel：62789151-322, Fax: 62771130, Email: z.wang @ tsinghua.edu.cn
|
|
微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）
|
微流体与生物医学微系统
|
纳电子与量子器件系统
|
新型储存器
|
系统级封装与集成
|
|
陈炜
|
|
|
●
|
|
|
|
刘玉玺
|
●
|
|
●
|
|
|
|
刘泽文
|
●
|
●
|
●
|
|
|
|
任天令
|
●
|
|
|
●
|
|
|
王喆垚
|
●
|
●
|
|
|
●
|
|
岳瑞峰
|
●
|
●
|
|
|
|
|
蔡坚
|
|
|
|
|
●
|
|
邓宁
|
|
|
●
|
●
|
|
|
方华军
|
●
|
|
|
|
|
|
刘建设
|
|
|
●
|
|
|
|
王晓红
|
●
|
●
|
|
|
|
|
谢丹
|
|
|
|
●
|
|
|
李铁夫
|
|
|
●
|
|
|
|
杨轶
|
●
|
|
|
|
|
