微纳器件与系统研究室
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（1） 微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）
[1] 微纳(集成)传感器：压力传感器、加速度传感器、生物传感器、室温红外焦平面探测器、纳米传感器、磁电阻传感器
[2] RF MEMS：微机械开关、滤波器、电感、移相器
[3] 微声学器件：硅微麦克风、微扬声器、超声器件
[4] 光学器件：微机械光开关、滤波器、压电执行器
[5] 能源器件：微型燃料电池、微型三维超级电容、微型能量收集器
[6] 微纳制造技术：表面微加工技术，体微加工技术，干法和湿法深刻蚀技术，双面光刻，厚胶光刻，键合，电镀等
（2） 微流体与生物医学微系统BioMEMS
[1] 微流体器件：微通道、微泵、微阀等
[2] 微流体芯片及电操作微流控系统
[3] 微全分析系统（uTAS）及微生化分析仪
[4] 面向重大疾病和癌症的集成诊断芯片
（3） 纳电子与量子器件系统
[1] 纳电子器件：低维纳电子器件材料、结构与器件
[2] 量子器件：硅基量子器件、分子器件、自旋电子器件
[3] 量子计算：量子计算与量子信息学
[4] 磁电子与自旋电子材料
（4） 新型储存器
[1] 铁电存储器（FeRAM）
[2] 磁存储器（MRAM）
[3] 阻变存储器（RRAM）
[4] 相变存储器（PRAM）
（5） 系统级封装与集成技术
[1] 系统级封装关键技术
[2] 集成电路及电子器件封装技术
[3] MEMS封装技术
[4] 三维集成方法
[5] 封装可靠性技术
