微纳器件与系统研究室

微纳器件与系统研究室是清华大学“微米/纳米技术研究中心”的主要成员单位之一。研究室拥有超净实验环境和微纳器件与材料制造系列设备，包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机、电镀与腐蚀设备、MOCVD、六靶超高真空溅射系统、离子束刻蚀机、CMP设备等常用和特殊的MEMS及微型传感器制造设备，以及包括扫描电镜、扫描探针显微镜、台阶仪等在内的多种表面形貌表征、材料和电子性能测试的仪器和设备，可进行多种微纳电子器件的材料、结构和电路的研究。另外，实验室拥有铁电/压电、超导量子器件、稀释制冷机、超高真空蒸发台、磁电子等新型材料和新器件的工艺制造设备和测试仪器。

 

 

 

 

   

电子束蒸发薄膜沉积系统              稀释制冷机

          Thin Film Deposition System.       KelvinoxMX400 Dilution Refrigerator.

 

 

LPCVD                     多靶磁控溅射台

                                   Magnetic controlled sputter

 

 

ICP深刻蚀机                            双面光刻机

            ICP                              MA-6 contact aligner