微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室
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生化微系统与物联网
本方向面向高性能生化微系统的重大需求，开展聚合物微纳制造方法、技术与装备研究。解决生化微系统中尺度耦合、聚合物表面的异质材料微结构制造、微纳模具制造等关键难题，将生物制造赋予尺度与精度上的跨越，在生化传感器、药物筛选、疾病诊断等方面具有重要应用价值。近年来，以科研成果为基础，积极推进产学研合作，与企业合作研制开发病原菌检测芯片、心肌损伤标记物检测芯片、血糖连续监测芯片等。
物联网是本实验室近期开展的创新方向，本方向研究多传感器接入标准、异构网络互联、传感网远程通信支持等关键技术，开发面向物联网的微纳传感器，通过计算、通信和控制的有机融合与深度协作，以使系统更加可靠和高效，实现大型工程系统以及水环境资源的实时感知、动态控制和多源化信息服务。
微纳传感器与执行器
本方向对微纳传感器和微执行器所涉及的基础理论、微尺度效应、集成设计方法等进行研究，实现微纳器件与系统应用和产业化。微纳传感器是指敏感元件特征尺寸达到微小或微纳量级传感器，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小。目前，微纳传感器测量对象从机械量的位移、速度和加速度到热工学量的温度和基于温度特性的红外图像和流速，以及磁场、化学成分等。与传统传感器相比，微纳传感器具有体积小、质量轻、功能灵活、功耗小，以及成本低廉等特点。微镜、微夹钳、微机器人等执行器是具有微纳尺度可动的特性，其动作精度、动作效率、可靠性等指标决定了系统性能。从能量转换形式分类，微纳执行器有静电驱动、电磁驱动、压电驱动、形状记忆合金驱动、凝胶驱动、热驱动及超导驱动等多种形式。
微纳仪器与装备
微纳技术产业化发展，离不开能实现位置、形状、尺寸、材料取向在微纳米尺度高度可控的工业化装备，而此类装备研发涉及到精密机械、微电子、自动控制、计算机、物理等多个领域，是高度复杂的系统工程，目前国内多数高端微纳测试和加工设备仍需依赖进口。本方向主要针对微纳测试和微纳集成装配技术与仪器设备开展研究。
在微纳测试方面，特征尺寸和表面形貌等几何参数的测量、表面力学量及结构机械性能的测量、含有可动机械部件的微纳系统动态机械性能测试、微纳制造工艺的实时在线测试方法和微纳器件质量快速检测等是重要问题。
在微纳集成装配方面，围绕精密定位与对准、粘滞力与重力的控制、速度与效率等问题，高速、高精度、并行装配技术等，重点研究基于多场和尺度效应的高精度、高通量、低成本和多维操纵方法与关键技术，开展精密与微小器件装配关键问题研究、研发装配自动化技术和设备，提升精密微小/微纳器件制造企业的技术水平和工程化能力。
信息光电子器件
本方向以半导体光电功能材料和半导体传感技术为基础，以微光学机械电子技术的集成工艺为重要手段，开展新型宽带隙ZnO光电功能薄膜材料及器件研究、新型有机半导体材料及电子与光电子器件研究。光电子器件是光电技术的关键核心部件，信息光电子器件研究是现代光电技术与微电子技术的前沿领域，也是信息技术的重要组成部分。光电子器件发展十分迅猛，不断采用新技术、利用新材料、研究新原理、开发新产品，各种新型器件不断涌现、器件性能不断提高，其探测范围从γ射线至远红外甚至到亚毫米波段的广阔的光谱区域，分辨力也不断提高。
纳米材料与器件
本方向主要开展功能性纳米粉体、纳米杂化材料制备技术及一维纳米材料与器件的研究。通过纳米材料和制造的研究，推动了纳米技术的应用与产业化。纳米材料的出现改变了材料的传统观念，在尺度效应作用下，纳米材料体现出优良力学性能、抗弯强度、断裂韧性、生物兼容性等，可得到诸如高强度金属和合金、塑性陶瓷、功能生物材料等新一代材料。纳米器件是特征尺寸进入纳米范围后的电子器件，纳米技术可以使芯片等纳米器件集成度进一步提高，例如大幅度缩小电子元件尺寸。纳米技术是在原子/分子层次上对物质种类、数量和结构形态进行精确观测、识别和控制的技术，是在纳米尺度范围内研究物质特性和相互作用，并利用这些特性制造具有特定功能的材料或器件产品的多学科交叉高新技术。
