东南大学Mems实验室
东南大学MEMS教育部重点实验室
东南大学 1983 年开始集成传感器的研究，并于 1985 年在欧洲固态电子器件会议《 ESSDERC ￠85 ，Germany, p.88 》报道了集成 MOS 流量传感器的研究结果；1986 年开始了硅片直接键合技术研究，
应用方向：集成 MOS 流量传感器 硅键合材料的测试 MOS磁电耦合 微传感器 CAD 研究
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