北京大学mems实验室
北京大学信科学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室成立于1987年，位于燕园东北侧新区，一体东侧，成府园区内。目前已经发展成为全球大学校园内一流的微电子工艺实验平台，也是国际上为数不多的能够同时进行金属氧化物半导体（MOS）器件工艺和硅基微电子机械系统(MEMS)技术研究的实验室。实验室的研究方向为：基于
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