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技术原理
现代X光电子能谱(XPS)分析技术
2021.4.20
现代电子能谱仪有3个主要功能:单色XPS(Mono XPS)、小面积XPS(SAXPS)和成像XPS(iXPS),被认为是光电子能谱仪发展方向。本文介绍这3个功能突出的特点及在材料微分析方面的实际应用。
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周锦帆
原国家质检总局 教授
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