材料表面分析技术综述
材料表面分析技术是通过分析探束或探针与材料表面发生作用产生的许多信息而研究表面的。主要分为表面形貌分析、表面组分分析和表面结构分析等几大部分,其中表面形貌分析技术有扫描电镜、透射电镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜等;表面组分分析技术主要有俄歇电子能谱、光电子能谱、二次离子质谱、电子探针显微分析、离子探针显微分析等;表面结构分析技术主要有X射线衍射、电子衍射和中子衍射等。本文主要讨论了上述方法技术的原理、适用范围及特点。
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材料表面分析技术是通过分析探束或探针与材料表面发生作用产生的许多信息而研究表面的。主要分为表面形貌分析、表面组分分析和表面结构分析等几大部分,其中表面形貌分析技术有扫描电镜、透射电镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜等;表面组分分析技术主要有俄歇电子能谱、光电子能谱、二次离子质谱、电子探针显微分析、离子探针显微分析等;表面结构分析技术主要有X射线衍射、电子衍射和中子衍射等。本文主要讨论了上述方法技术的原理、适用范围及特点。
