简介X射线光电子能谱仪的技术指标
可实现的功能：单色化双阳极XPS、微区XPS、离子散射谱ISS、反射电子能量损失谱REELS、紫外光电子能谱UPS、氩复合团簇离子枪刻蚀、角分辨ARXPS、平行成像XPS、原位X射线荧光光谱EDXRF分析，并能进行样品台加热冷却、超高真空环境下的测量。
能量扫描范围0～5000eV；通过能范围不小于1～400eV，并可连续调节，调节步长不大于1eV。
微聚焦单色化Al Kα/Ag Lα X射线源，束斑尺寸可在20μm～900μm之间连续可调，调节步长小于10μm；最优能量分辨率：半高宽优于0.43 eV(Ag3d5/2)。
可实现平行成像，空间分辨率≤1μm的化学态成像以及6μm的微区回溯成谱。
深度剖析离子枪：离子源：Ar+源；单离子模式：刻蚀能量0.1～4keV连续可调；团簇模式：刻蚀能量2keV～8 keV，团簇中离子数目75～2000个，每个离子能量最低可达1eV；最大束流：最大束流≥3μA (传统模式)，≥20nA（离子簇模式），束斑大小≤500μm。
样品台：5轴样品台，X方向不小于50mm，Y方向不小于20mm，Z方向不小于12mm，以水平方向为轴至少在-90o～+90o范围内可倾斜。
制备室及分析室样品台带有加热冷却功能，温度范围为170K-1000K。
超高真空监测装置：可实现大气至10-8Pa范围的连续真空测量。
配有同轴反射电子能量损失谱，可满足对氢元素的定性定量分析；通过X射线荧光光谱仪，可原位的实现样品体相元素成分及表面元素成分分析测试。
数据库：包括完整的XPS和ISS数据库。
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