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电子探针X射线显微分析仪背散射电子及背散射电子像

2022.1.14

  背散射电子是指入射电子与样品相互作用(弹性和非

  弹性散射)之后,再次逸出样品表面的高能电子,其能量接近于入射电子能量(E。)。背散射电子能量大于50eV,小于等于入射电子能量。背射电子的产额随样品的原子序数增大而增加,所以背散射电子信号的强度与样品的化学组成有关,即与组成样品的各元素平均原子序数有关。样品平均原子序数越大,产生的背散射电子数目越多,图像的亮度越大,反之亦然。背散射电子也反映样品形貌信息。

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