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电镜的球差和畸变及其形成原因

2018.3.15

1、球差:由于电子束光源通过透镜受到偏转,通过样品,从物平面向下发射,形成物点孔径角。从物点发出的射线,到达下一级透镜又被聚集。如果透镜有缺陷或孔径角太大,则靠近光轴的射线和远离光轴的射线,受到电磁场的作用就会不同,这些射线在光轴上会聚的位置不同,结果远离光轴的射线就会在像面上形成一个最小模糊圈。此时可有图象中央凸起感。球差是目前影响电镜分辨率的一个主要因素。  

2、畸变:由于离轴较远处的径向磁场的作用力强,使放大倍数随物点离轴的距离而变化,进而使图象发生改变而产生的。畸变常见的有枕形畸变、桶形畸变和S形畸变等。 


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