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扫描探针显微镜(SPM)粗调定位装置的要求

2018.4.08

粗调定位装置的要求:

1、能把Tip从毫米距离逼近到距离样品5nm范围而不会撞针。

2、粗调进针装置应有大的运动范围和小到5nm的步进精度。


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