长春应化所发表嵌段共聚物引导组装研究综述
近日，中国科学院长春应用化学研究所生态环境高分子材料重点实验室季生象课题组应邀撰写的题为Directed self-assembly of block copolymers on chemical patterns: A platform for nanofabrication 的综述在Progress in Polymer Science上发表（Prog. Polym. Sci. 2016, 54–55, 76–127）。
该综述对嵌段共聚物在化学图案上引导组装的原理、流程和技术手段，及其在半导体行业的应用进行了全面的总结和评述，并对嵌段共聚物引导组装的未来发展前景进行了展望，便于读者快速全面地了解该研究领域的发展状况。
使用化学图案(chemical pattern)引导组装(directed self-assembly，DSA)嵌段共聚物薄膜微相分离，可以获得长程有序排列的纳米结构。相对于光刻法得到的纳米结构，引导组装制备的纳米结构具有相畴定位高度精准、线边粗糙度小等优点，并可以通过自我修复修正光刻法产生的缺陷以及密度倍增法解决光刻法极限分辨率的难题，是制造下一代芯片和存储媒体的理想候选技术之一。
该课题组自2011年组建以来一直在开展嵌段共聚物引导组装方面的研究工作，通过分子设计合成新型嵌段共聚物，并研究其在化学图案上的引导组装行为，主要包括：1）高χ值嵌段共聚物的合成及其引导组装；2）三嵌段共聚物的引导组装；3）新型聚合物分子刷的合成。
该课题组还应邀在Chinese Journal of Polymer Science上发表了题为From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification的聚合物分子刷方面的综述( 2016, 34, 659-678) 。
课题组的相关工作获得了中科院百人计划、国家自然科学基金委和吉林省科技厅等项目的大力支持。
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科技前沿
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项目成果
