光切法显微镜使用方法
(一)光切法显微镜可用测微目镜测出表面平面度平均高度值RZ,按国家标准,平面度平均高度值RZ与表面粗糙度级别的关系如表1所示。
表 1
平面度平均高度值RZ/μm | 相当于原精度等级 |
50-100 | 3 |
25-50 | 4 |
12.5-25 | 5 |
6.3-12.5 | 6 |
6.3 | 7 |
3.2 | 8 |
1.6 | 9 |
在测量时,所测量的表面范围不少于五个波峰。
为使测量能正确迅速地进行,要求按表1内所列的数据选择物镜。
(二)被检工作物的安放和显微镜调焦
1.被检工件放在工作台上时,测量表面之加工纹路应与显微镜光轴平面平行,即与狭缝像垂直。并使测量表面平行于工作台平面(准确到1°);对于圆柱形或锥形工件可放在工作台上之V型块上。
2.选择适当的物镜插在滑板上,拆下物镜时应先按下手柄,插入所需的物镜后,放松手柄即可。
3.接通电源变压器和照明灯连线,调整粗调手轮和微调手轮调焦在测量平面上,使视场中出现最清晰的狭缝像和表面轮廓像。如果狭缝边缘像(下面边)与表面轮廓像不能同时调清晰时,可稍稍转动手轮。一般情况下,请不要转动它。
4.旋松测微目镜之固紧螺钉,转动测微目镜使其中十字线处于水平,并用螺钉把它固定在这个位置上,此时目镜内分划板运动方向与狭缝像成45°角度。在这以后,就可以进行表面轮廓平面度的测量工作。
注意:为了正确地对圆柱体进行测量工作,必须同时调整工作台和显微镜,使显微镜精确地调焦在圆柱顶端母线上。为此,需使工作台垂直于圆柱体轴线移动(平行于加工条纹移动),必要时,对显微镜需重新调焦。
(三)轮廓平面度的测量
为测量表面轮廓平面度,需使狭缝平行的分划水平线与狭缝清晰边缘(下面边)最高点相切。然后记上在目镜分划板与测微鼓上的读数,再使十字线的水平线与狭缝隙清晰边缘最低点相切,第二次记下分划板与鼓轮的读数。
(四)带辅助物镜的物镜放大倍数
为了确定物镜放大倍数V,在进行轮廓平面测量时需对仪器备有0.01mm的标准刻度尺进行测量。首先将标准刻度尺放在仪器的工作台上,调整标准刻度尺刻线清晰地成像在目镜视场中,并且使其刻线和狭缝像垂直,分划板十字线的运动方向与狭缝像平行。然后将分划板十字线交点对准标准刻尺的一端,按测微目镜的分划板与测微鼓进行第一次读数。把十字线交点移到标准刻度尺的另一端,再以同法进行第二次读数。此时,测微目镜的两次读数差与标准刻度尺选择段刻度数之比,就是显微镜物镜的放大倍数V。
(五)表面显微轮廓的摄像
为了能在光切法显微镜上对显微轮廓进行摄像,仪器上可安装数码摄像装置(需另购适配镜和数码相机)。摄像时,根据上述(二)的方法,在目镜中得出清晰的像后,转动手轮到摄像部位,然后参照数码相机的使用说明书进行操作、调焦,直至数码相机视屏中图像轮廓清晰,线条分明。