原子力显微镜（AFM）的原理和技术指标
原理
将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描点的位置变化，从而可以获得样品表面的形貌。
技术指标
磁畴探测精度：10nm；水平方向分辨率：0.2nm；垂直方向分辨率：0.03nm；X-Y向扫描范围：12μm×12μm，90μm×90μm；X-Y向噪声水平：< 0.15 nm RMS
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