电子能谱仪的分类
电子能谱仪的类型有许多种，它们对样品表面浅层元素的组成能做出比较精确的分析，有时还能进行在线测量如膜形成成长过程中成分的分布、变化的探测等，使监测制备高质量的薄膜器件成为可能。
光电子能谱仪
光电子谱仪分析样品成分的基本方法，就是用已知光子照射样品，然后检测从样品上发射的电子所带有关于样品成分的信息。试验中，作为探针的光子的参量是已知的，而检测电子所带的信息包括其能量分布、角度分布和自旋特性，确定这些信息与样品成分的关系就可以分析样品的成分。按探针光子的能量，PES可以分为两类：X射线光电子谱(XPS)，能量范围为100eV～10keV；紫外线电子谱(UPS)能量范围为10eV～40eV。
俄歇电子能谱仪
电子束轰击材料表面，会产生表征元素种类及其化学价态的二次电子，这种二次电子称为俄歇电子。俄歇电子的穿透能力弱，故可以用来分析表面1nm以内几个原子层的成分。如配上溅射离子枪可对试样进行逐层分析；扫描电镜可以附加俄歇谱仪，以便对微小区域进行分析。俄歇谱仪(AES)可以对包括轻元素在内的几乎所有元素进行分析，故它对表面轻元素分析研究具有重要意义。
俄歇电子谱仪主要由提供电子束的电子枪、接收俄歇电子并向能量分析器输送的电子倍增器以及进行逐层剥离的溅射离子枪。
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