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扫描电子显微镜块状样品制备方法

2018.6.27

3.1.1 块状试样制备

1.导电性材料 导电性材料主要是指金属,一些矿物和半导体材料也具有一定的导电性。这类材料的试样制备最为简单。只要使试样大小不得超过仪器规定(如试样直径最大为φ25mm,最厚不超过20mm等),然后用双面胶带粘在载物盘,再用导电银浆连通试样与载物盘(以确保导电良好),等银浆干了(一般用台灯近距离照射10分钟,如果银浆没干透的话,在蒸金抽真空时将会不断挥发出气体,使得抽真空过程变慢)之后就可放到扫描电镜中直接进行观察。但在制备试样过程中,还应注意:

① 为减轻仪器污染和保持良好的真空,试样尺寸要尽可能小些。

② 切取试样时,要避免因受热引起试样的塑性变形,或在观察面生成氧化层。要防止机械损伤或引进水、油污及尘埃等污染物。

   ③ 观察表面,特别是各种断口间隙处存在污染物时,要用无水乙醇、丙酮或超声波清洗法清理干净。这些污染物都是掩盖图像细节,引起试样荷电及图像质量变坏的原因。

  ④ 故障构件断口或电器触点处存在的油污、氧化层及腐蚀产物,不要轻易清除。观察这些物质,往往对分析故障产生的原因是有益的。如确信这些异物是故障后才引入的,一般可用塑料胶带或醋酸纤维素薄膜粘贴几次,再用有机溶剂冲洗即可除去。

       ⑤ 试样表面的氧化层一般难以去除,必要时可通过化学方法或阴极电解方法使试样表面基本恢复原始状态。


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