光学表面轮廓仪相关内容
光学表面轮廓仪是一种用于材料科学、电子与通信技术领域的分析仪器，于2009年11月27日启用。
技术指标
1. 垂直测量范围：0.1nm 至 1mm2. 垂直分辨率：<0.1nm Ra3. RMS重现性：0.01nm4. 垂直扫描速度：可达14.4微米/秒5. 横向分辨率：0.08 至13.1微米。
主要功能
光学轮廓仪提供精确、非接触表面测量，可运用于微机械系统、薄膜、光学器件、陶瓷、高级材料等领域。
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光学表面轮廓仪是一种用于材料科学、电子与通信技术领域的分析仪器，于2009年11月27日启用。
技术指标
1. 垂直测量范围：0.1nm 至 1mm2. 垂直分辨率：<0.1nm Ra3. RMS重现性：0.01nm4. 垂直扫描速度：可达14.4微米/秒5. 横向分辨率：0.08 至13.1微米。
主要功能
光学轮廓仪提供精确、非接触表面测量，可运用于微机械系统、薄膜、光学器件、陶瓷、高级材料等领域。
