白光干涉3D表面轮廓仪简介
白光干涉3D表面轮廓仪是一种用于材料科学领域的分析仪器,于2018年9月17日启用。
技术指标
1、白光干涉垂直扫描技术要求:垂直扫描范围:0-150m(压电陶瓷扫描)纵向分辨率:0~150um范围内≤0.1nm
2、扩展扫描范围:150um~15mm(步进电机扫描)
3、基于2技术要求的全部范围和条件下,测试能力要求达到:可测量超光滑表面,Ra测试精度≤0.1nm,可测量表面类型:透明、不透明;镀膜、非镀膜;反射、低反射。
主要功能
测量显示样品二维或三维形貌,测量粗糙度,测量台阶高度。
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