SJ 1794-1981
半导体器件生产用扩散炉.通用技术条件

General specification for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing

SJ 1794-1981 发布历史

SJ 1794-1981由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 ，并于 1981-10-01 实施。

SJ 1794-1981 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。

SJ 1794-1981的历代版本如下：

•  SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉.通用技术条件

标准号

SJ 1794-1981

发布日期

实施日期

1981年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

SJ 1794-1981 中可能用到的仪器设备