JB/T 4082-1991
溅射离子泵.技术条件

被代替

2012-04

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标准号: JB/T 4082-1991
发布: 1991年
发布单位: 行业标准-机械
替代标准: JB/T 4081-2011
当前最新: JB/T 4081-2011

适用范围: 　　本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。　　本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。

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