BH GSO IEC 62047-11:2022
半导体器件 微机电器件 第11部分：微机电系统自支撑材料线性热膨胀系数的测试方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems


 

 

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标准号
BH GSO IEC 62047-11:2022
发布单位
GSO
当前最新
BH GSO IEC 62047-11:2022
 
 

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