JB/T 2965-1992
溅射离子泵性能测试方法
Performance testing method of sputtering ion pump
JBT2965-1992, JB2965-1992
- 标准号
- JB/T 2965-1992
- 别名
- JBT2965-1992, JB2965-1992
- 发布
- 1992年
- 发布单位
- 行业标准-机械
- 当前最新
- JB/T 2965-1992
- 被代替标准
- JB 2965-1981
- 适用范围
- 本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。
本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。
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