PN M43853-1991
真空技术涡轮分子泵．性能特点的测量方法

Vacum technology. Turbomolecular pumps. Methods of measurement of the performance characteristics

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标准号: PN M43853-1991
发布: 1991年
发布单位: PL-PKN
当前最新: PN M43853-1991

适用范围: 标准的主题是？测试真空涡轮分子泵基本参数的方法：a）确定抽速，b）测量最终压力，c）确定压缩比，d）测量最大工作压力，e）测量启动时间，f ）振动测量。因为？涡轮分子泵的应用涵盖了广泛的压力范围，这些泵的测试方法各不相同是？取决于达到的入口压力范围。脱颖而出两个压力范围： - 高于 10~4 Pa， - 低于 10-4 Pa。

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