SJ 3248-1989
重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

Methods for measuring carrier concentration of readded Gallium arsenide and Indium phosphide by infra-red reflection

标准号

SJ 3248-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

无

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理，仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。 本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度，也适用于测量外延层的载流子浓度。

SJ 3248-1989 中可能用到的仪器设备