SJ 3244.4-1989
砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法.电化学电压电容法已作废

Methods of measurement for profile distribution of carrier concentration of Gallium arsenide and Indium phosphide materials--Electrochemical voltage capacitance method

标准号

SJ 3244.4-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)～10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟，也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。

SJ 3244.4-1989 中可能用到的仪器设备