SJ/T 10479-1994
自动砂轮划片机通用技术条件

General specification for automatic wheel scribing machine

SJT10479-1994, SJ10479-1994

2016-06

标准号
SJ/T 10479-1994
别名
SJT10479-1994, SJ10479-1994
发布
1994年
发布单位
行业标准-电子
替代标准
SJ/T 10479-2016
当前最新
SJ/T 10479-2016
 
 
适用范围
本标准规定了自动砂轮划片机的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于切割分离半导体硅片、石英、陶瓷等材料的划片机。

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