SJ/T 10314-1992
直流四探针电阻率测试仪通用技术条件
Generic specification of resistivity measuring instrument with four-point probe
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- 标准号
- SJ/T 10314-1992
- 发布日期
- 1992年06月15日
- 实施日期
- 1992年12月01日
- 废止日期
- 2010-02-25
- 中国标准分类号
- N04
- 发布单位
- CN-SJ
- 适用范围
- 本标准规定了直流四探针电阻率测试仪的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等。 本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电阻和电阻的直流四探针测试仪，其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层电阻测试仪可参照使用。 本标准不包括四探针探头标准。