本标准规定了直流四探针电阻率测试仪的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等。 本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电阻和电阻的直流四探针测试仪,其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层电阻测试仪可参照使用。 本标准不包括四探针探头标准。
SJ/T 10314-1992由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1992-06-15,并于 1992-12-01 实施,于 2010-02-25 废止。
SJ/T 10314-1992 在中国标准分类中归属于: N04 基础标准与通用方法。
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