ASTM F533-02a
ASTM F533-02a
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- 标准号
- ASTM F533-02a
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F533-02a
- 引用标准
- ASTM F1530
- 1.1 本测试方法2涵盖抛光或未抛光硅晶圆厚度的测量，以及晶圆厚度变化的估计。 1.2 本测试方法主要适用于符合 SEMI 规范 M1 尺寸和公差要求的晶圆。然而，它可以应用于任何直径和厚度的圆形硅、晶圆或基板，并且可以在不破裂的情况下进行处理。 1.3 本测试方法适用于接触式和非接触式测量设备。每个都已建立了精确声明。 1.4 以英寸-磅为单位的数值应被视...