ASTM F533-02a
ASTM F533-02a
- 标准号
- ASTM F533-02a
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F533-02a
- 引用标准
- ASTM F1530
- 适用范围
- 1.1 本测试方法2涵盖抛光或未抛光硅晶圆厚度的测量，以及晶圆厚度变化的估计。
1.2 本测试方法主要适用于符合 SEMI 规范 M1 尺寸和公差要求的晶圆。然而，它可以应用于任何直径和厚度的圆形硅、晶圆或基板，并且可以在不破裂的情况下进行处理。
1.3 本测试方法适用于接触式和非接触式测量设备。每个都已建立了精确声明。
1.4 以英寸-磅为单位的数值应被视为标准值。括号中的值仅供参考。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。