YS/T 26-1992
硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-1992 发布历史

YS/T 26-1992由行业标准-有色金属 CN-YS 发布于 1992-03-09，并于 1993-01-01 实施。

YS/T 26-1992 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法。

YS/T 26-1992的历代版本如下：

• 1992年03月09日 YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法
• 2016年07月11日 YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法 于 2016-07-11 变更为 YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法。

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标准号

YS/T 26-1992

发布日期

1992年03月09日

实施日期

1993年01月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H21

发布单位

CN-YS

代替标准

YS/T 26-2016

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