T/NXCL 015-2022
硅部件用柱状多晶硅
Columnar polysilicon for silicon parts
- 标准号
- T/NXCL 015-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/NXCL 015-2022
- 适用范围
- 本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、原料、化学成分、物理性能、晶粒形态和夹杂物。试验方法包括化学成分分析方法、物理性能检验方法以及晶粒形态和夹杂物的检测方法。检验规则包括检查和验收、组批、检验项目、仲裁取样和制样、检验结果的判定。
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