GB/T 12963-2009
硅多晶
Specification for polycrystalline silicon
GBT12963-2009, GB12963-2009
2015-09
- 标准号
- GB/T 12963-2009
- 别名
- GBT12963-2009, GB12963-2009
- 发布
- 2009年
- 采用标准
- SEMI M16-1103-2003 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 12963-2014
- 当前最新
- GB/T 12963-2022
- 引用标准
- ASTM F1723-02 GB/T 13389-1992 GB/T 14264-2009 GB/T 1550-1997 GB/T 1553-2009 GB/T 1558-2009 GB/T 4059-2007 GB/T 4060-2007 GB/T 4061-2009
- 被代替标准
- GB/T 12963-1996
- 适用范围
- 本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。