SJ 2065-1982
半导体器件生产用扩散炉测试方法

Testing method for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing

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标准号: SJ 2065-1982
发布日期: 1982年02月18日
实施日期: 1982年07月01日
废止日期: 无
中国标准分类号: L97
国际标准分类号: 31-550
发布单位: CN-SJ

SJ 2065-1982 中可能用到的仪器设备

水浴/油浴/恒温槽

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