SJ 2065-1982
半导体器件生产用扩散炉测试方法

Testing method for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing

SJ 2065-1982 发布历史

SJ 2065-1982由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1982-02-18，并于 1982-07-01 实施。

SJ 2065-1982 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。

SJ 2065-1982的历代版本如下：

• 1982年02月18日 SJ 2065-1982 半导体器件生产用扩散炉测试方法

标准号

SJ 2065-1982

发布日期

1982年02月18日

实施日期

1982年07月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

SJ 2065-1982 中可能用到的仪器设备