SJ 2798-1987
电子级气体中颗粒的测定方法.光散射法已作废

Method for determination of particles in electronic grade gases--Light scattering method

标准号

SJ 2798-1987

发布日期

1987年05月18日

实施日期

1988年01月01日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31-030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氮中颗粒的测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。

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