SJ 2799-1987
电子级气体中痕量水分子的测定方法.目视露点法已作废

Method for determination of trace water in electronic grade gases--Dew point method

标准号

SJ 2799-1987

发布日期

1987年05月18日

实施日期

1988年01月01日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31-030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测量范围0∽90℃。

SJ 2799-1987 中可能用到的仪器设备