SJ/T 11131-1997
蒸发镀膜设备基本参数系列

Basic parameter series of evaporation plating equipment

标准号

SJ/T 11131-1997

发布日期

1997年09月03日

实施日期

1998年01月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

被代替标准

SJ 1098-1977 SJ 1099-1977

适用范围

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。

SJ/T 11131-1997 中可能用到的仪器设备