SJ/T 11131-1997
蒸发镀膜设备基本参数系列

Basic parameter series of evaporation plating equipment

SJT11131-1997, SJ11131-1997


SJ/T 11131-1997 发布历史

SJ/T 11131-1997由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1997-09-03,并于 1998-01-01 实施。

SJ/T 11131-1997 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备,在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。

SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列的最新版本是哪一版?

最新版本是 SJ/T 11131-1997

SJ/T 11131-1997的历代版本如下:

  • 1997年 SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列
  • 0000年 SJ 1099-1977

 

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)~5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。

SJ/T 11131-1997

标准号
SJ/T 11131-1997
别名
SJT11131-1997
SJ11131-1997
发布
1997年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 11131-1997
 
 
被代替标准
SJ 1098-1977 SJ 1099-1977

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