SJ/T 31100-1994
离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ion beam etching machines

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标准号

SJ/T 31100-1994

发布日期

1994年04月15日

实施日期

1994年06月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定子半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。