SJ/T 31100-1994
离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ion beam etching machines

SJ/T 31100-1994 发布历史

本标准规定子半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。

SJ/T 31100-1994由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1994-04-15，并于 1994-06-01 实施。

SJ/T 31100-1994 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。

SJ/T 31100-1994的历代版本如下：

• 1994年04月15日 SJ/T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 SJ/T 31100-1994 前三页，或者稍后再访问。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

SJ/T 31100-1994

发布日期

1994年04月15日

实施日期

1994年06月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定子半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。