BS ISO 17973:2002
表面化学分析中分辨率俄歇电子能谱仪元素分析能量标度的校准

Surface chemical analysis. Medium-resolution Auger electron spectrometers. Calibration of energy scales for elemental analysis

被代替

2016-09

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标准号: BS ISO 17973:2002
发布: 2003年
发布单位: SCC
替代标准: BS ISO 17973:2016; BS ISO 17973:2003
当前最新: BS ISO 17973:2016

适用范围: 交叉引用：ISO 17974 ISO 18115

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俄歇电子能谱仪的基本原理

新一代的俄歇电子能谱仪多采用场发射电子枪,其优点是空间分辨率高,束流密度大,缺点是价格贵,维护复杂 ,对真空要求高。除 H 和 He 外,所有原子受激发后都可产生俄歇电子,通过俄歇电子能谱不但能测量样品表面的元素组分和化学态,而且分析元素范围宽,表面灵敏度高。显微AES是 AES 很有特色的分析功能。一般显微AES是先获得扫描电子微显图像(SEM),再在 SEM 图像上确定分析位置和分析方式。...

俄歇电子能谱仪的技术发展

对俄歇电子能谱仪的定性分析

　　通过正确测定和解释AES的特征能量、强度、峰位移、谱线形状和宽度等信息，能直接或间接地获得固体表面的组成、浓度、化学状态等多种情报。　　定性分析　　定性分析主要是利用俄歇电子的特征能量值来确定固体表面的元素组成。能量的确定在积分谱中是指扣除背底后谱峰的最大值，在微分谱中通常规定负峰对应的能量值。习惯上用微分谱进行定性分析。...

俄歇电子能谱（1）

各种表面分析方法的建立又为这些领域的研究创造了很有利的条件。在表面组分分析方法中，除化学分析用电子能谱以外，俄歇电子能谱是最重要的一种。目前它已广泛地应用于化学、物理、半导体、电子、冶金等有关研究领域中。...

BS ISO 17973:2002表面化学分析 中分辨率俄歇电子能谱仪 元素分析能量标度的校准