T/SZCA 2-2021
洁净生产车间环境在线监测技术规程

Technical specification for cleanroom environment on-line monitoring

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标准号

T/SZCA 2-2021

发布

2021年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/SZCA 2-2021

 

 

适用范围

1 总则 2 术语 3 设计 3.1 一般规定 3.2 布点原则 4 洁净生产车间基本要求 4.1 一般规定 4.2 环境静电监测及防护、接地 4.3 潜在环境破坏因素及分析 4.4 洁净生产车间环境监测指标　 5 洁净生产车间监测系统组成 5.1 管理及监控系统 5.2 数据同步服务系统 5.3 数据处理系统 5.4 数据采集及远程控制系统 5.5 通讯系统 5.6 系统扩展说明 6 仪器、设备及终端 6.1 仪器、设备、监控终端组成 6.2 网关及监控终端设备要求 6.3 洁净生产车间环境监控终端设备基本要求 7 施工安装基本要求 8 系统调试 9 竣工验收 10 维护与保养 10.1 监测数据备份规程 10.2 在线监测设备定期保养及校准制度 10.3 健全维护保养记录 本规程用词说明 附录A 洁净等级划分参考表 附录B 在线监测数理统计与分析表

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