在每个特定的短脉冲之后,每一个脉冲后的膜厚都会得到测量。信息会反馈到过程控制中,然后再执行一个脉冲,或成功完成镀膜。这种方法首次满足了高度精确的要求,创造出了1或2纳米厚的薄层,无需经验即可完美重现。图1:闪光蒸发时,晶振片随时间变化。图2:执行特定的脉冲蒸发时,石英信号随时间变化。无晶振片膜厚测量如果想评估碳膜厚度,但没有晶振片测量系统,则可以采用一种简单的视觉测试方法。...
,支持检测小尺寸样品软件界面直观,操作方便省时应用实例(1)膜厚仪在某晶振行业的应用晶振行业一般使用石英震荡法进行测试膜厚,对于比较薄的膜(几微米及以下级别),通常准确度达不到需求。...
此外,在镀膜过程中为精确控制Pt-Au成膜厚度到Å级别,使用了石英晶振模拟片,每次镀膜前其厚度监控也都采用布鲁克公司的Dektak膜厚仪和TEM断面两种方式进行校准。 论文作者总结,大气环境中合金材料获得10-9mm3N-1m-1量级的磨损率,得益于Pt-Au超级稳定的纳米晶结构。...
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